MEMS微加速度计的设计与性能控制(四)

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在西安的第三天我们和校领导一行有幸参观了沐浴胜地，国家级重点文物保护单位华清池，阵容强大的秦始皇兵马俑及收藏价值突出的陕西省历史博物馆。
综观三天的科研见习生活，航天九院七七一所带给我的震撼最大，在此间，我了解到了微电子在科技方面的重要性，一览了现代化的高科技的工作环境，看到了微电子的大好前景，这将激励我更加勇敢而又有自信地迈向科学殿堂。
七致谢
首先衷心地感谢李政道先生及其已故夫人秦惠君女士设立了“君正基金”，使我们本科生阶段就能够接触科研，认识科研。
感谢我的导师杨建红教授能在百忙之中给我无微不至的指导与关怀。
感谢学校的领导带领我们进行了一次使我终生难忘的科研见习，使我开阔了眼界，帮助我树立更高的理想。
感谢其他的君政学者，他们在见习期间给了我太多的帮助和关怀。

[作者简介] 李贵柯男，中共预备党员，山东省泰安市人，2000年由山东省新泰一中考入兰州大学资源环境与城乡规划管理专业，入学后，以优异成绩考入地理基地班，后来由于各种原因转入物理科学与技术学院2001级微电子学专业学习，两年以来，获得一等奖学金两次，国家二等奖学金一次，校“三好学生”一次，“优秀学生会干部”一次，“优秀团干部”一次，校普通物理竞赛二等奖一次，曾担任校青年志愿者协会办公室副主任，物理科学与技术学院团委实践部部长，班级学习委员等职。
[导师简介]杨建红，男，1965年3月生。兰州大学物理系博士毕业。曾赴加拿大曼尼托巴大学和澳大利亚悉尼大学访问、留学。现为兰州大学物理科学与技术学院教授，微电子研究所所长，主要从事新型微电子器件的研究。

参考文献
张兴、黄如、刘晓彦，《微电子学概论》，北京大学出版社，2000年。
Fedder,G..K.,S.Reed M.L.,Eagle S.C.,Guilou D.F.,Lu M.,Carley L.R.,”Laminated high-aspect-ratio microstructures in a conventional CMOS process,” Sensor and Actuators A,pp.103-10,Nov.1996.
Kuechnel,W.,”Modeling of the mechanical behavior of a differential capacitor accelerometer sensor,”Sensors and Actuators A,vol.A36,pp.79-87,March 1993.
Yun,W.,Howe R.T.,Gray R.R.,”surface micromachined,digitally force-balanced accelerometer with integrated COMS detection circuitry,”IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop,Hilton Head Island,SC,June,1992, pp21-25
Lecture notes, EE321, MEMS Design, Stanford University, 2003.
黄庆安，硅微机械加工技术，科学出版社，1996年。

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