MEMS微加速度计的设计与性能控制
摘要 目前研究较多、具有良好应用前景的微加速度计是依托微机电系统(MEMS)加工技术制作而成的微加速度计,其中尤以电容式加速度计最为重要。它具有结构较为简单、制作工艺与常规微电子加工工艺兼容、灵敏度高、使用简便等优点。本文针对电容式微加速度计的使用要求,分析其结构和工作原理,对其互补金属-氧化物-半导体(CMOS)的制造工艺特点也做了简要描述。论文主要给出了其核心部件---执行器的设计,定量给出了弹簧的劲度系数、阻尼因子等关键技术指标,并分析了它们对加速度计性能的影响。 关键词 微加速度计,CMOS-MEMS结构,电容,劲度系数,阻尼因子 一 引言 MEMS是英文Micro Electro Mechanical Systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响,它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 随着MEMS技术的发展,惯性传感器件在过去的几年中成为最成功,应用最广泛的微机电系统器件之一,而微加速度计(microaccelerometer)就是惯性传感器件的杰出代表。微加速度计的理论基础就是牛顿第二定律,根据基本的物理原理,在一个系统内部,速度是无法测量的,但却可以测量其加速度。如果初速度已知,就可以通过积分计算出线速度,进而可以计算出直线位移。结合陀螺仪(用来测角速度),就可以对物体进行精确定位。根据这一原理,人们很早就利用加速度计和陀螺进行轮船,飞机和航天器的导航,近年来,人们又把这项技术用于汽车的自动驾驶和导弹的制导。汽车工业的迅速发展又给加速度计找到了新的应用领域,汽车的防撞气囊(Air Bag)就是利用加速度计来控制的。 作为最成熟的惯性传感器应用,现在的MEMS加速度计有非常高的集成度,即传感系统与接口线路集成在一个芯片上。本文将就微加速度计进行初步设计,并对其进行理论分析。 二 MEMS加速度计的结构模型及其工作原理 2.1 MEMS微加速度计的结构模型 为了提高加速度计的工作灵敏度,通常采用电容式结构。我们这里所研究的加速度计属于电容式结构的一种;采用质量块-弹簧-阻尼器系统来感应加速度,其结构如图1所示。图中只画出了一个基本单元。它是利用比较成熟的硅加工工艺在硅片内形成的立体结构(图1只给出其剖面示意图)。图中的质量块是微加速度计的执行器,与质量块相连的是可动臂;与可动臂相对的是固定臂。可动臂和固定臂形成了电容结构,作为微加速度计的感应器。其中的弹簧并非真正的弹簧,而是由硅材料经过立体加工形成的一种力学结构,它在加速度计中的作用相当于弹簧。 首页 上一页 1 2 3 4 下一页 尾页 1/4/4 相关论文
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